基本信息
| 标准名称： | 电子工业用气体 硅烷(SiH4) |
| 英文名称： | Gas for electronic industry－Silane |
| 中标分类： | 化工 >> 其他化工产品 >> 工业气体与化学气体 |
| ICS分类： | 化工技术 >> 化工产品 >> 工业气体 |
| 替代情况： | 被GB/T 15909-2009代替 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1995-01-02 |
| 实施日期： | 1996-08-01 |
| 首发日期： | 1995-12-20 |
| 作废日期： | 2010-05-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 化工部西南化工研究院 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 平装16开， 页数：9， 字数：13千字 |
适用范围
本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
前言
没有内容
目录
没有内容
引用标准
没有内容
所属分类： 化工 其他化工产品 工业气体与化学气体 化工技术 化工产品 工业气体